膜厚参数:膜厚均匀性 ≥95%腔体尺寸:300*300*540mm真空系统:分子泵、低温泵(国产/进口)极限真空:3*10 -5Pa蒸发源:4-6组蒸发源基片尺寸: ≤100×100mm (加热/水冷)软件:半自动与全自动软件控制