膜厚参数：膜厚均匀性 ≥95%腔体尺寸：300*300*540mm真空系统：分子泵、低温泵（国产/进口）极限真空：3*10 -5Pa蒸发源：4-6组蒸发源基片尺寸： ≤100×100mm (加热/水冷）软件：半自动与全自动软件控制
