膜厚参数：稳定镀膜速率0.1Å/S膜厚均匀性 ≥95%腔体尺寸： 500*500*600mm真空系统：分子泵（国产/进口）极限真空：3*10 -5Pa蒸发源：2-6组蒸发源电子枪：国产5-12KW电子枪4-6穴坩埚基片尺寸：4-8英寸可定制软件：半自动与全自动软件控制
