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电子束热蒸发集成 TW500

膜厚参数:稳定镀膜速率0.1Å/S膜厚均匀性 ≥95%
腔体尺寸: 500*500*600mm
真空系统:分子泵(国产/进口)
极限真空:3*10 -5Pa
蒸发源:2-6组蒸发源
电子枪:国产5-12KW电子枪4-6穴坩埚
基片尺寸:4-8英寸可定制
软件:半自动与全自动软件控制


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