膜厚参数：膜厚均匀性 ≥95%腔体尺寸：450*450*600mm真空系统：分子泵（国产/进口）极限真空：3*10 -5Pa蒸发源：4-10组蒸发源基片尺寸：≤156×156mm (水冷）软件：半自动与全自动软件控制
