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热蒸发TW400

膜厚参数:膜厚均匀性 ≥95%
腔体尺寸:400*400*650mm
真空系统:分子泵、低温泵(国产/进口)
极限真空:3*10 -5Pa
蒸发源:4-8组蒸发源
基片尺寸: ≤135×135mm (加热)
软件:半自动与全自动软件控制


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