膜厚参数：膜厚均匀性 ≥95%
腔体尺寸： 600*600*550mm
真空系统：分子泵（国产/进口）
极限真空：5*10 -5Pa
真空靶：≤6寸，2-3个（国产/进口）
基片尺寸：210*210mm (加热/水冷）
软件：半自动与全自动软件控制
