膜厚参数:膜厚均匀性 ≥95%
腔体尺寸: 600*600*550mm
真空系统:分子泵(国产/进口)
极限真空:5*10 -5Pa
真空靶:≤6寸,2-3个(国产/进口)
基片尺寸:210*210mm (加热/水冷)
软件:半自动与全自动软件控制