膜厚参数:膜厚均匀性 ≥95%
腔体尺寸:400*400*500mm
真空系统:分子泵(国产/进口)
极限真空:5*10 -5Pa
真空靶:≤3寸,2-4个(国产/进口)
基片尺寸:≤ 6寸 (加热/水冷)
软件:半自动与全自动软件控制