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CVD气相沉积管式炉

CVD管式炉,气相沉积管式炉

本款CVD管式炉工作温度为300℃至1600℃,配备真空泵,气体混合装置。采用了先进的温度控制系统,高温精度,出色的气体流量精度,易于操作,出色的隔热效果和温度均匀性。 主要用于大学,研究中心和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。

高温真空管式炉特点

· 最高温度:
1200℃(HRE电阻丝加热)
1400℃ (硅碳棒加热)
1600℃ (硅钼棒加热)

· 智能化51段可编程自动控制

· 双层风冷结构;炉壳表面温度低于50℃

· 304不锈钢双层密封法兰

· 两端可调节法兰支撑结构,延长炉管使用寿命

· 超温保护功能,当温度超过允许设定值自动断电

· 安全保护当炉体漏电时自动断电

· 升温速率≦20 ℃ /分

· 控温精度±1 ℃

· 最大真空度-0.08MPa

· 配置分子泵机组,真空度可达7×10^(-3)Pa

CVD管式炉配套设备

多路气体控制柜

质量流量计配气柜

真空管式炉技术规格

Ⅰ. 技术参数

最高工作温度

1600℃ (<2小时)

温度仪表

● 人工智能PID仪表,自动控制温度。双向反并联可控硅调压,对电炉温度进行精准控制,并具有限流功能。防止供电电压不稳,电流突然过大引起跳闸,烧损电气元件等。 (我公司采用的可控硅为国际优秀品牌:西门康)
● 51段编程曲线,根据预置程序自动升温、保温、降温。一键完成,无需工人值守。
● 内置控温参数自整定功能。.
● 具有超温报警,热电偶断裂报警,并自动切断供电电源,提供可靠保护。

控温精度

±1℃

加热速率

0-20℃/分钟

热电偶

B型(双铂铑) ,热电偶保护管为纯度 99.7%的刚玉管

加热元件

高纯硅钼棒

普通真空

-0.08MPa

高真空

7×10^(-3)Pa (分子泵)

配套设配

气体混合控制柜,质子流量计,浮子流量计

炉膛

三层全纤维炉衬,构成整个炉膛
● 第一层: 1800型多晶氧化铝陶瓷纤维。保证炉膛足够的强度,又确保具有极好的隔热效果。
● 第二层: 1430型多晶氧化铝陶瓷纤维。
● 第三层: 保温棉若干。

炉壳结构

● 高强度碳钢制作而成,酸洗磷化除锈后,静电喷塑,美观大方。
● 双层风冷炉壳,内置2-4个散热风机,确保炉壳表面温度低于60℃.

产品保修

1. 自验收之日起,高温箱式炉整机免费保修一年。如果设备出现问题,现场进行维修,终身提供技术支持!
2. 超出保修期后,成本价提供配件。

 

 

1200℃ CVD管式炉标准尺寸

型号

炉膛尺寸
(直径x加热区长度)

功率

最高
温度

热电偶

炉管

加热
元件

TW-12CNT-40/300

40x300mm

3 KW

1200℃

K型

石英管

电阻丝

TW-12CNT-60/300

60x300mm

3 KW

TW-12CNT-80/300

80x300mm

5 KW

TW-12CNT-100/300

100x300mm

5 KW

TW-12CNT-120/300

120x300mm

6 KW

TW-12CNT-40/450

40x450mm

3 KW

TW-12CNT-60/450

60x450mm

3 KW

TW-12CNT-80/450

80x450mm

5 KW

TW-12CNT-100/450

100x450mm

5 KW

TW-12CNT-120/450

120x450mm

6 KW

 

 

1400℃ CVD管式炉标准尺寸

型号

炉膛尺寸
(直径x加热区长度)

功率

最高
温度

热电偶

炉管

加热
元件

TW-14CST-40/300

40x300mm

4 KW

1400℃

S型

氧化铝管

硅碳棒

TW-14CST-60/300

60x300mm

4 KW

TW-14CST-80/300

80x300mm

4 KW

TW-14CST-100/300

100x300mm

6 KW

TW-14CST-120/300

120x300mm

6 KW

TW-14CST-40/450

40x450mm

4 KW

TW-14CST-60/450

60x450mm

4 KW

TW-14CST-80/450

80x450mm

4 KW

TW-14CST-100/450

100x450mm

6 KW

TW-14CST-120/450

120x450mm

6 KW

 

1600℃ CVD管式炉标准尺寸

型号

炉膛尺寸
(直径x加热区长度)

功率

最高
温度

热电偶

炉管

加热
元件

TW-16CMT-40/300

40x300mm

4 KW

1600℃

B型

氧化铝管

硅钼棒

TW-16CMT-60/300

60x300mm

4 KW

TW-16CMT-80/300

80x300mm

4 KW

TW-16CMT-100/300

100x300mm

6 KW

TW-16CMT-120/300

120x300mm

6 KW

TW-16CMT-40/450

40x450mm

5 KW

TW-16CMT-60/450

60x450mm

5 KW

TW-16CMT-80/450

80x450mm

5 KW

TW-16CMT-100/450

100x450mm

7 KW

TW-16CMT-120/450

120x450mm

7 KW

 

 


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