H2O＜1PPM；O2＜1PPM泄露率：＜0.001vol%h工作气体：氮气、氩气、氦气箱体压力：自动压力控制，脚踏开关辅助手动控制再生气体：N2/Ar/He+ H2混合气 (H2 浓度：5-10 %)软件：由西门子的PLC和7"彩色触摸屏组成，自动再生程序
